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氧化钒薄膜微观结构的研究

潘梦霄 曹兴忠 李养贤 王宝义 薛德胜 马创新 周春兰 魏 龙

氧化钒薄膜微观结构的研究

潘梦霄, 曹兴忠, 李养贤, 王宝义, 薛德胜, 马创新, 周春兰, 魏 龙
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-07-28
  • 修回日期:  2003-10-24
  • 刊出日期:  2004-03-05

氧化钒薄膜微观结构的研究

  • 1. 中国科学院高能物理研究所核分析技术重点实验室;北京 100039;河北工业大学材料科学与工程学院;天津 300130
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:19927001)资助的课题.

摘要: 采用直流磁控反应溅射在Si(100)衬底上溅射得到(001)取向的V2O5薄膜.x射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)和傅里叶变换红外光谱(FTIR)的结果表明,氧分压影响薄膜的成分和生长取向,在氧分压0.4Pa时溅射得到(001)取向的纳米V2O5薄膜,即沿c轴垂直衬底方向取向生长的薄膜.V2O5薄膜经过真空退火得到(001)取向的VO2薄膜,晶体颗

English Abstract

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