搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

非平衡磁控溅射沉积系统伏安特性模型研究

牟宗信 李国卿 车德良 黄开玉 柳 翠

引用本文:
Citation:

非平衡磁控溅射沉积系统伏安特性模型研究

牟宗信, 李国卿, 车德良, 黄开玉, 柳 翠

Investigation of the model of the discharge properties of the unbalanced magnetron sputtering system

Mu Zong-Xin, Li Guo-Qing, Che De-Liang, Huang Kai-Yu, Liu Cui
PDF
导出引用
计量
  • 文章访问数:  7039
  • PDF下载量:  629
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2003-09-27
  • 修回日期:  2003-11-04
  • 刊出日期:  2004-03-05

/

返回文章
返回