搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

金刚石薄膜的红外椭圆偏振光谱研究

沈沪江 王林军 方志军 张明龙 杨 莹 汪 琳 夏义本

金刚石薄膜的红外椭圆偏振光谱研究

沈沪江, 王林军, 方志军, 张明龙, 杨 莹, 汪 琳, 夏义本
PDF
导出引用
计量
  • 文章访问数:  3242
  • PDF下载量:  749
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2003-06-24
  • 修回日期:  2003-09-17
  • 刊出日期:  2004-03-05

金刚石薄膜的红外椭圆偏振光谱研究

  • 1. 上海大学材料科学与工程学院;上海 201800
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:60277024)、上海市科委重点项目和上海市青年科技启明星项目资助的课题.

摘要: 采用红外椭圆偏振光谱对微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)和热丝化学气相沉积法(H-FCVD)制备的金刚石薄膜在红外波长范围(2.5—12.5μm)的光学参数进行了测量.建立了不同的光学模型,且在模型中采用Bruggeman有效介质近似方法综合考虑了薄膜表面和界面的椭偏效应.结果表明,MPCVD金刚石膜的椭偏数据在模型引入了厚度为77.5nm的硅表面氧化层、HFCVD金刚石膜引入879nm粗糙层之后能得到很好的拟合.最后对两种模型下金刚石薄膜的折射率和消光系数进行了计算,表明MPCVD金刚石薄膜的红外

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回