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Cu掺杂氧化锌薄膜的发光特性研究

朋兴平 兰 伟 谭永胜 佟立国 王印月

Cu掺杂氧化锌薄膜的发光特性研究

朋兴平, 兰 伟, 谭永胜, 佟立国, 王印月
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-09-22
  • 修回日期:  2003-12-26
  • 刊出日期:  2004-04-05

Cu掺杂氧化锌薄膜的发光特性研究

  • 1. 兰州大学物理系,兰州 730000
    基金项目: 

    甘肃省自然科学基金(批准号:ZS01A2505C)资助的课题.

摘要: 通过射频反应溅射法在Si(111)衬底上制备了不同Cu掺杂量的ZnO薄膜.室温下测量了样品的光致发光(PL)谱,所有样品的PL谱中均观察到435?nm左右的蓝光发光带,该发光带的强度与Cu掺杂量和溅射功率有关.当溅射功率为150?W,Cu掺杂量为2.5%时,ZnO薄膜的PL谱中出现了较强的蓝光双峰,而溅射功率为100?W,Cu掺杂量为1.5%时,出现了位于437nm(2.84eV)处较强的蓝光峰,后者的取向性较好.还研究了掺杂量和溅射功率对发光特性的影响,并对样品的蓝光发光机制进行了探讨.

English Abstract

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