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利用金属掩模法制备钉扎型磁性隧道结

金恩姬 由 臣 赵燕平 李飞飞 王天兴 曾中明 彭子龙

利用金属掩模法制备钉扎型磁性隧道结

金恩姬, 由 臣, 赵燕平, 李飞飞, 王天兴, 曾中明, 彭子龙
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-11-21
  • 修回日期:  2003-12-29
  • 刊出日期:  2004-04-05

利用金属掩模法制备钉扎型磁性隧道结

  • 1. (1)北京石油化工学院数理部,北京 102617; (2)天津理工学院材料科学与工程系,天津 300191; (3)中国科学院物理研究所,磁学国家重点实验室,北京 100080
    基金项目: 

    天津市高等学校科技发展基金(批准号:0120216)资助的课题.

摘要: 利用金属掩模法和Ir22Mn78合金反铁磁钉扎层,制备了四种钉扎型的Py/Al2O3/Py,Py/Al2O3/Co,Co/Al2O3/Py和Co/Al2O3/Co磁性隧道结,坡莫合金的成分为Py=Ni79Fe21.例如:利用狭缝宽度为100?μm的金属掩模,直接制备出室温隧穿磁电阻比值为17.2%的磁性隧道结Co/Al2O3/Co,其结电阻为76Ω,结电阻和结面积的积矢为76×104Ωμm2,自由层的偏转场为1114?A/m,并且在外加磁场0.1114A·m-1之间时室温磁电阻比值

English Abstract

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