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Si组分对SiGe量子点形状演化的影响

邓 宁 陈培毅 李志坚

Si组分对SiGe量子点形状演化的影响

邓 宁, 陈培毅, 李志坚
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-08-29
  • 修回日期:  2003-12-12
  • 刊出日期:  2004-09-16

Si组分对SiGe量子点形状演化的影响

  • 1. 清华大学微电子研究所,北京 100084
    基金项目: 

    国家自然科学基金重点基金(批准号:69836020)、教育部985(批准号:JZ200 1010)和中国博士后科学基金资助的课题.

摘要: 研究了自组织生长SiGe岛(量子点)中Si组分对形状演化的影响.采用UHV/CVD方法生长了 不同Si组分的SiGe岛,用AFM对其形状和尺寸分布进行了分析,实验结果表明SiGe岛从金字 塔形向圆顶形转变的临界体积随Si组分的增大而增大.通过对量子点能量的应变能项进行修正,解释了量子点中Si组分对形状演化的影响.在特定的工艺条件下得到了单模尺寸分布的 金字塔和圆顶形量子点.结果表明,通过调节SiGe岛中的Si组分,可以实现对SiGe岛形状和 尺寸的控制.

English Abstract

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