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用X射线荧光光谱法非破坏测定多元合金薄膜的组分和厚度

郝贡章 吴长存 程建邦 程万荣 王喜红

用X射线荧光光谱法非破坏测定多元合金薄膜的组分和厚度

郝贡章, 吴长存, 程建邦, 程万荣, 王喜红
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出版历程
  • 收稿日期:  1982-05-14
  • 刊出日期:  2005-07-21

用X射线荧光光谱法非破坏测定多元合金薄膜的组分和厚度

  • 1. (1)冶金工业部有色金属研究总院; (2)中国科学院物理研究所

摘要: 本文用X射线荧光光谱法,不破坏样品,测定三元合金薄膜的组份。此法无需制备任何相似的固体标样或纯元素的块状标样,而是利用含已知组份的滤纸片作为标样。滤纸片标样制作简便、快速,并且能长期稳定。由薄膜中元素所发出的特征X射线强度与其面密度之间的一组联立方程解出薄膜成份,利用衬底中元素的特征X射线强度随膜厚增大而衰减的定量关系确定膜厚。利用本文的方法可以同时测定薄膜的成分和厚度。

English Abstract

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