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背散射方法研究金属中注入轻离子分布

瞿振元 马铁良 高乃飞 张宏涛 熊家炯

背散射方法研究金属中注入轻离子分布

瞿振元, 马铁良, 高乃飞, 张宏涛, 熊家炯
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出版历程
  • 收稿日期:  1983-11-28
  • 刊出日期:  2005-03-28

背散射方法研究金属中注入轻离子分布

  • 1. 清华大学物理系

摘要: 用能量为MeV量级的α粒子背散射方法测定了大剂量N+ (5×1017 atom/cm2,100keV)注入铁膜(厚约4000?)及铁块(工业纯)的注入离子的浓度-深度分布。由于大剂量杂质的注入,使基体背散射谱出现“凹坑”,提出了一种利用“凹坑”计算杂质分布的方法。

English Abstract

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