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溅射Al-C-O/Al太阳选择性吸收涂层

殷志强

溅射Al-C-O/Al太阳选择性吸收涂层

殷志强
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出版历程
  • 收稿日期:  1985-09-17
  • 刊出日期:  1986-05-05

溅射Al-C-O/Al太阳选择性吸收涂层

  • 1. 清华大学

摘要: 设计计算了以Al为底层的多层Al-C-O的太阳吸收涂层。运用直流磁控溅射制备了这种Al-C-O/Al吸收涂层。理论计算与实验测量的结果基本一致。经真空中烘烤后,涂层的Al-C-O/Al太阳吸收率α≈0.92,室温热发射率ε≈0.04,具有优良的光谱选择性。由于使用单个溅射靶,简化了溅射系统,提高了靶溅射的利用率。

English Abstract

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