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高频电场对双探针法诊断低压等离子体的影响

朱文浩 吴毅锋 陈跃山

高频电场对双探针法诊断低压等离子体的影响

朱文浩, 吴毅锋, 陈跃山
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出版历程
  • 收稿日期:  1986-01-17
  • 刊出日期:  2005-07-14

高频电场对双探针法诊断低压等离子体的影响

  • 1. 清华大学工程力学系
    基金项目: 

    中国科学院科学基金

摘要: 本文中导出了不论在鞘层上是否存在高频电压降时统一的双探针伏-安特性曲线表达式及确定电子温度的公式。从理论及实验上研究了鞘层上的交流电压对双探针诊断的影响,并求得等离子体在10-2—10-3Torr范围内的电子温度,实验的分析结果和理论完全一致。证明当电子能量分布为麦克斯韦分布时,高频干扰对确定电子温度基本上无影响。通过对实验结果的分析,以及用三探针法的相互校核,证明实验结果是可靠的。

English Abstract

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