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非晶态异质结构a-Si:H/a-SiNx:H和a-Si:H,a-SiNx:H薄膜的应力研究

王万录 廖克俊

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非晶态异质结构a-Si:H/a-SiNx:H和a-Si:H,a-SiNx:H薄膜的应力研究

王万录, 廖克俊

STRESS STUDIES OF AMORPHOUS a-Si:H/a-SiNx:H HETEROJUNCTIONS AND a-Si:H, a-SiNx:H FILMS

WANG WAN-LU, LIAO KE-JUN
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出版历程
  • 收稿日期:  1986-06-02
  • 修回日期:  1987-05-28
  • 刊出日期:  1987-06-05

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