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单晶硅中硅氢键和氢致缺陷的电子自旋共振研究

苏昉 C. LEE P. C. TAYLOR

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单晶硅中硅氢键和氢致缺陷的电子自旋共振研究

苏昉, C. LEE, P. C. TAYLOR

ELECTRON SPIN RESONANCE INVESTIGATION ON Si-H BONDS AND H-INDUCED DEFECTS IN SINGLE CRYSTALS OF SILICON

SU FANG, C. LEE, P. C. TAYLOR
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出版历程
  • 收稿日期:  1987-08-11
  • 刊出日期:  2005-07-06

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