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Mo/Si体系的离子束混合机制研究

李宏成 王瑞兰 刘家瑞 高文玉

Mo/Si体系的离子束混合机制研究

李宏成, 王瑞兰, 刘家瑞, 高文玉
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出版历程
  • 收稿日期:  1988-06-11
  • 刊出日期:  2005-07-08

Mo/Si体系的离子束混合机制研究

  • 1. (1)中国科学院物理研究所; (2)中国科学院新疆物理研究所

摘要: 本文采用卢瑟福背散射(RBS)分析技术详细测量了Mo/Si体系在Ar+和Xe7+离子束轰击下界面混合和反应随温度、剂量和剂量率的依赖关系。得到了许多新的结果。结果表明,以前的空位扩散机制、单级联间隙原子扩散机制和热峰模型都不能解释Mo/Si体系的离子束混合。我们结合固体扩散理论提出了间隙原子扩散和反应机制,圆满地解释了实验结果。

English Abstract

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