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非相干光源用于“核-环比”法测量表面粗糙度

程路 萧季驹

非相干光源用于“核-环比”法测量表面粗糙度

程路, 萧季驹
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出版历程
  • 收稿日期:  1989-03-20
  • 刊出日期:  2005-03-20

非相干光源用于“核-环比”法测量表面粗糙度

  • 1. (1)南开大学物理系,天津,300071; (2)香港城市理工学院应用科学系

摘要: 本文将文献[1-5]的用激光测量表面粗糙度的“核-环比”法推广到采用其他非相干光源,给出测量原理的定量公式及测量装置的结构框图。

English Abstract

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