搜索

文章查询

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

钛-硅系快速热退火固相反应机制的研究

华文玉 陈存礼 李建年

钛-硅系快速热退火固相反应机制的研究

华文玉, 陈存礼, 李建年
PDF
导出引用
导出核心图
计量
  • 文章访问数:  2496
  • PDF下载量:  643
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  1989-09-14
  • 刊出日期:  2005-06-17

钛-硅系快速热退火固相反应机制的研究

  • 1. (1)华东工学院应用物理系,南京,210014; (2)南京大学物理系,南京,210008

摘要: 钛膜在10-7Torr真空中用电子束蒸发沉积在硅单晶片上,以快速热退火方式进行团相反应。转靶X射线衍射分析发现,540—600℃退火后,有两个亚稳相Ti5Si4的衍射峰。延长退火时间,第一成核相Ti5Si4可持续存在到钛被消耗完,随即转变成稳定相TiSi2。退火温度高于640℃,形成稳定相TiSi2。薄层电阻和喇曼散射的测量研究结果表明,与X射线衍射有很好的对应。207和244cm-1波数处的两个喇曼峰为TiSi2的特征喇曼峰,而270,297和341cm-1的三个喇曼峰似乎是由Ti5Si4引起。

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回