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Fe离子注入多晶Al2O3的光电子能谱研究

李世普 樊东辉 王国梅 邢宁 任卫

Fe离子注入多晶Al2O3的光电子能谱研究

李世普, 樊东辉, 王国梅, 邢宁, 任卫
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出版历程
  • 收稿日期:  1990-08-22
  • 刊出日期:  2005-07-01

Fe离子注入多晶Al2O3的光电子能谱研究

  • 1. 武汉工业大学材料工程系,武汉,430070
    基金项目: 

    中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室资助的课题

摘要: 本文应用光电子能谱(XPS)方法分析Fe离子注入多晶Al2O3样品中各离子的存在状态。通过微机对谱峰进行高斯拟合处理,得出注入离子Fe不同价态的相对含量。

English Abstract

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