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纳米晶Ti薄膜的结构研究

吴雪梅 邬钦祟 隋毅峰

纳米晶Ti薄膜的结构研究

吴雪梅, 邬钦祟, 隋毅峰
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出版历程
  • 收稿日期:  1991-07-08
  • 刊出日期:  2005-07-03

纳米晶Ti薄膜的结构研究

  • 1. (1)苏州大学物理系,苏州215006; (2)中国科学院等离子体物理研究所,合肥230031

摘要: 用高密度、高电离度的电子迴旋共振等离子体溅射方法在室温基片上沉积出纳米晶Ti薄膜,基体为玻璃、NaCl单晶、纯Al等。对Ti薄膜的结构、形貌和成分进行X射线衍射(XRD),透射电子显微镜(TEM)和X射线光电子能谱(XPS)分析,表明所沉积的Ti薄膜是平均粒径d<10nm,晶粒大小均匀且具有比较稳定的fcc反常结构的纳米晶粒膜。我们还较系统地研究了各工作参数对Ti薄膜的晶体结构、晶粒尺寸、成膜速率以及对基体粘附力的影响,分析了成膜机理。

English Abstract

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