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Al-50wt% Sn合金的离子溅射研究

王震遐 章骥平 潘冀生 陶振兰 张慧明 赵烈 曾跃武 王承宝 林祯昌

Al-50wt% Sn合金的离子溅射研究

王震遐, 章骥平, 潘冀生, 陶振兰, 张慧明, 赵烈, 曾跃武, 王承宝, 林祯昌
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出版历程
  • 收稿日期:  1991-07-29
  • 刊出日期:  2005-07-03

Al-50wt% Sn合金的离子溅射研究

  • 1. (1)杭州大学中心实验室,杭州310028; (2)上海合金厂,上海201800; (3)中国科学院上海原子核研究所,上海201800
    基金项目: 

    国家自然科学基金

摘要: 用捕获膜技术和卢瑟福背散射(RBS)分析,测定Al-Sn多相合金在30keV Ar+离子轰击时Al和Sn的溅射原子角分布。溅射后的样品用扫描电子显微镜(SEM)进行观察,并用电子微探针分析仪(EPMA)对轰击样品(靶点)和未轰击样品作成分分析。结果表明,Al的溅射原子角分布近于cosine形状,而Sn却是over-cosine型角分布。本文给出一个按不同表面形貌特征划分的各元素富集区i进行叠加的产额表达式,Y(θ)=∑Yi(θ),解释了实验结果。

English Abstract

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