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用高能H+束辐照类金刚石碳膜的研究

王天民 王维洁 韩培刚 黄良甫 罗崇泰

用高能H+束辐照类金刚石碳膜的研究

王天民, 王维洁, 韩培刚, 黄良甫, 罗崇泰
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出版历程
  • 收稿日期:  1991-02-01
  • 修回日期:  1991-05-03
  • 刊出日期:  2005-07-03

用高能H+束辐照类金刚石碳膜的研究

  • 1. (1)兰州大学材料科学系,兰州,730010; (2)中国空间技术研究院兰州物理研究所,兰州,730000

摘要: 用能量(112,89keV)和剂量(1×1017,5×1016个/cm2)配比不同的H+束对双离子束溅射淀积的类金刚石碳(DLC)膜进行辐照,用Raman光谱、红外透射光谱和膜层电阻率测量、粘着力测定等多种手段对辐照前后的DLC膜进行,表征和分析,结果表明,高能H+束辐照效应跟高能重离子辐照效应是不同的,H+束辐照使膜层sp3C—H键相对减少,sp

English Abstract

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