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薄膜界面粗糙对双晶摇摆曲线的影响

欧阳吉庭 麦振洪 崔树范

薄膜界面粗糙对双晶摇摆曲线的影响

欧阳吉庭, 麦振洪, 崔树范
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出版历程
  • 收稿日期:  1991-02-04
  • 刊出日期:  2005-07-03

薄膜界面粗糙对双晶摇摆曲线的影响

  • 1. 中国科学院物理研究所,北京,100080
    基金项目: 

    国家自然科学基金

摘要: 用X射线衍射动力学理论,模拟计算InP衬底上InGaAs/AllnAs超晶格和InGaAs单层膜的X射线双晶摇摆曲线,计算结果表明:薄膜界面粗糙对单层膜的衍射峰和超晶格的零级衍射峰影响较小,但却明显影响单层膜衍射干涉条纹和超晶格的±1级卫星峰,随着平均界面粗糙度的增大,单层膜衍射干涉条纹强度减弱并趋于消失;超晶格的±1级卫星峰变弱并逐渐展宽,理论计算的模拟双晶摇摆曲线与超晶格实验曲线比较表明:高质量匹配In0.53Ga0.47As(85?)/Al0.4

English Abstract

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