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管式等离子体化学气相沉积质量转换动力过程的研究

刘祖黎 朱大奇 宋文栋 陈俊芳

管式等离子体化学气相沉积质量转换动力过程的研究

刘祖黎, 朱大奇, 宋文栋, 陈俊芳
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出版历程
  • 收稿日期:  1991-04-11
  • 刊出日期:  2005-07-03

管式等离子体化学气相沉积质量转换动力过程的研究

  • 1. 华中理工大学物埋系,武汉,430074
    基金项目: 

    国家自然科学基金

摘要: 本文对管式装置中等离子体化学气相沉积过程提出了一种数学描述方式,具体讨论了沉积过程中活性粒子产生频率、沉积速率和沉积效率等与电子密度、气体流速、气体压强等的相互关系,并对部分结果进行了理论解释。

English Abstract

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