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Ni-Si多层膜中固态非晶化反应的热力学与动力学过程

王文魁 汪卫华 白海洋 张云 陈红

Ni-Si多层膜中固态非晶化反应的热力学与动力学过程

王文魁, 汪卫华, 白海洋, 张云, 陈红
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出版历程
  • 收稿日期:  1992-12-23
  • 刊出日期:  2005-07-10

Ni-Si多层膜中固态非晶化反应的热力学与动力学过程

  • 1. (1)中国科学院国际材料物理中心,沈阳110015;中国科学院物理研究所,北京100080; (2)中国科学院物理研究所,北京100080

摘要: 研究了Ni/非晶Si(a-Si)多层组分调制膜(ML)中界面上的固相反应。根据计算的亚稳自由能图,对界面上固相反应形成非晶态进行了热力学与动力学的分析。提出了Ni/a-Si多层膜中的固相反应的动力学模型。

English Abstract

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