搜索

文章查询

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

Ni在非晶Si中扩散机制的原位X射线衍射研究

王文魁 汪卫华 白海洋 陈红 张云

Ni在非晶Si中扩散机制的原位X射线衍射研究

王文魁, 汪卫华, 白海洋, 陈红, 张云
PDF
导出引用
导出核心图
计量
  • 文章访问数:  2584
  • PDF下载量:  552
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  1992-11-05
  • 刊出日期:  2005-07-10

Ni在非晶Si中扩散机制的原位X射线衍射研究

  • 1. (1)中国科学院国际材料物理中心,沈阳110015;中国科学院物理研究所,北京100080; (2)中国科学院物理研究所,北京100080

摘要: 通过对非晶Ni和Si多层组分调制膜(ML)中Ni和Si互扩散规律的原位X射线衍射法研究,考察了金属Ni在非晶Si(a-Si)中的扩散现象。得到了较低温度下Ni在非晶Si中扩散系数及规律,并且提出了Ni在a-Si中受非平衡缺陷延迟的间隙扩散机制。这个扩散模型较好地解释了Ni在a-Si中的扩散。

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回