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退火a-Ge/Pb叠层膜的扩散机制与电阻率的反常行为

李玉芝 许存义 周贵恩 刘宏宝 张裕恒

退火a-Ge/Pb叠层膜的扩散机制与电阻率的反常行为

李玉芝, 许存义, 周贵恩, 刘宏宝, 张裕恒
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出版历程
  • 收稿日期:  1992-06-01
  • 刊出日期:  2005-07-10

退火a-Ge/Pb叠层膜的扩散机制与电阻率的反常行为

  • 1. 中国科学技术大学结构分析开放研究实验室,合肥230026

摘要: 研究了a-Ge/Pb叠层膜不同温度下退火的行为,得到:PB诱导a-Ge晶化;发现a-Ge/Pb叠层膜在退火互扩散过程中存在两种扩散机制;对a-Ge/Pb为200nm/100nm的叠层膜,在退火互扩散中择优取向的Pb膜出现重新结晶。解释了退火过程中叠层膜电阻率的反常行为。

English Abstract

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