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脉冲红外激光诱发SiH4+CH4解离动力学研究

于威 李晓苇 韩理 张连水 傅广生

脉冲红外激光诱发SiH4+CH4解离动力学研究

于威, 李晓苇, 韩理, 张连水, 傅广生
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-09-27
  • 修回日期:  1993-11-19
  • 刊出日期:  1994-11-20

脉冲红外激光诱发SiH4+CH4解离动力学研究

  • 1. 河北大学物理系

摘要: 采用光学发射谱(OES)技术对脉冲TEA CO2激光诱发SiH4+CH4系统击穿产生的等离子体辐射进行了时间分辨的光谱测量。结果表明等离子体内分子的各碎片发光均在气体击穿时刻开始出现,但具有不同的时间特性,由此探讨了气体分子的分解过程。分析结果支持激光诱发SiH4+CH4等离子体内的主要离解通道为产生Si,C原子通道的分解动力学机制的解释。据此观点讨论了气体分解碎片间的反应过程。实验与理论符合较好。

English Abstract

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