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用改进的Van der Pauw法测定方形微区的方块电阻

孙以材 张林在

用改进的Van der Pauw法测定方形微区的方块电阻

孙以材, 张林在
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-04-09
  • 刊出日期:  1994-04-20

用改进的Van der Pauw法测定方形微区的方块电阻

  • 1. 河北工学院电子工程系,天津300130
    基金项目: 

    国家自然科学基金资助的课题.

摘要: 借助于显微镜放大8×10倍,用目视法将四探针针尖分别控制在样品的面积为100μm×100μm的方形微区的内切圆外四个角区内,利用改进的Van der Pauw法能测定它的方块电阻。测量不受探针游移的影响,无需用测定探针的精确几何位置来进行边缘效应修正。本文利用有限元法对此结论给予证明,并通过金微触点的方块电阻测定得到证实。

English Abstract

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