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亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究

沈孝良 崔明启 刘丽冰 缪建伟 陈光辉 袁利祥 范正修 殷功杰 邵建达 易葵

亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究

沈孝良, 崔明启, 刘丽冰, 缪建伟, 陈光辉, 袁利祥, 范正修, 殷功杰, 邵建达, 易葵
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出版历程
  • 收稿日期:  1994-03-01
  • 刊出日期:  1995-01-05

亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究

  • 1. (1)复旦大学分析测试中心,上海200433; (2)中国科学院高能物理研究所,北京100039; (3)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800
    基金项目: 

    国家高技术研究发展计划资助的课题.

摘要: 简要叙述软x射线多层膜位相光栅的理论设计、实验制备,详细给出了在北京同步辐射装置3B1束线上对多层膜位相光栅衍射效率的测试,以及对测试结果的分析,并与理论值进行了比较.

English Abstract

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