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												2019, 68(14): 148101.
												
												doi: 10.7498/aps.68.20190394 | 
							
									| [2] | 刘骐萱, 王永平, 刘文军, 丁士进. 基于Ni电极和ZrO2/SiO2/ZrO2介质的MIM电容的导电机理研究. 物理学报,
												2017, 66(8): 087301.
												
												doi: 10.7498/aps.66.087301 | 
							
									| [3] | 刘欢, 李公平, 许楠楠, 林俏露, 杨磊, 王苍龙. Cu离子注入单晶TiO2微结构及光学性质的模拟研究. 物理学报,
												2016, 65(20): 206102.
												
												doi: 10.7498/aps.65.206102 | 
							
									| [4] | 王锐, 胡晓君. 氧离子注入纳米金刚石薄膜的微结构和电化学性能研究. 物理学报,
												2014, 63(14): 148102.
												
												doi: 10.7498/aps.63.148102 | 
							
									| [5] | 王峰浩, 胡晓君. 氧离子注入微晶金刚石薄膜的微结构与光电性能研究. 物理学报,
												2013, 62(15): 158101.
												
												doi: 10.7498/aps.62.158101 | 
							
									| [6] | 彭述明, 申华海, 龙兴贵, 周晓松, 杨莉, 祖小涛. 氘化及氦离子注入对钪膜的表面形貌和相结构的影响. 物理学报,
												2012, 61(17): 176106.
												
												doi: 10.7498/aps.61.176106 | 
							
									| [7] | 李天晶, 李公平, 马俊平, 高行新. 钴离子注入对二氧化钛晶体的结构和光学性能的影响. 物理学报,
												2011, 60(11): 116102.
												
												doi: 10.7498/aps.60.116102 | 
							
									| [8] | 丁芃, 刘发民, 杨新安, 李建奇. Co离子注入TiO2薄膜的显微结构和磁性研究. 物理学报,
												2011, 60(3): 036803.
												
												doi: 10.7498/aps.60.036803 | 
							
									| [9] | 胡永刚, 肖建中, 夏风, 武玺旺, 闫双志. 基于热膨胀性质的ZrO2 固体电解质性能与相关系模型. 物理学报,
												2010, 59(10): 7447-7451.
												
												doi: 10.7498/aps.59.7447 | 
							
									| [10] | 苏海桥, 薛书文, 陈猛, 李志杰, 袁兆林, 付玉军, 祖小涛. Ti离子注入和退火对ZnS薄膜结构和光学性质的影响. 物理学报,
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												doi: 10.7498/aps.58.7108 | 
							
									| [11] | 刘晃清, 王玲玲, 邹炳锁. 退火温度对ZrO2纳米材料中Eu3+离子发光的影响. 物理学报,
												2007, 56(1): 556-560.
												
												doi: 10.7498/aps.56.556 | 
							
									| [12] | 彭德全, 白新德, 潘  峰, 孙  辉. 纯锆上离子注入钇和镧后的表面分析. 物理学报,
												2005, 54(12): 5914-5919.
												
												doi: 10.7498/aps.54.5914 | 
							
									| [13] | 李晓娜, 聂冬, 董闯, 马腾才, 金星, 张泽. 离子注入合成β-FeSi2薄膜的显微结构. 物理学报,
												2002, 51(1): 115-124.
												
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									| [14] | 戚泽明, 施朝淑, 王正, 魏亚光, 谢亚宁, 胡天斗, 李福利. 非晶和纳米ZrO2·Y2O3(15%)的X射线衍射与扩展X射线吸收精细结构研究. 物理学报,
												2001, 50(7): 1318-1323.
												
												doi: 10.7498/aps.50.1318 | 
							
									| [15] | 张联盟, 沈  强, 李俊国, 王国梅, 涂  溶, 陈立东, 平井敏雄. Sn离子注入PbTe的热电性能和结构. 物理学报,
												1999, 48(12): 2334-2342.
												
												doi: 10.7498/aps.48.2334 | 
							
									| [16] | 郭新, 袁润章, 孙尧卿, 崔崑. 晶界在多晶ZrO2基固体电解质中的作用. 物理学报,
												1996, 45(5): 860-868.
												
												doi: 10.7498/aps.45.860 | 
							
									| [17] | 杜英磊, 吴柏枚. ZrO2涂层热性质的弧光光热分析技术和有限差分热流模型研究. 物理学报,
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												doi: 10.7498/aps.43.1821 | 
							
									| [18] | 张建华, 刘增山, 秦永志. Zn离子注入多晶Al的扩散研究. 物理学报,
												1992, 41(9): 1474-1481.
												
												doi: 10.7498/aps.41.1474 | 
							
									| [19] | 李世普, 樊东辉, 王国梅, 邢宁, 任卫. Fe离子注入多晶Al2O3的光电子能谱研究. 物理学报,
												1991, 40(6): 857-861.
												
												doi: 10.7498/aps.40.857 | 
							
									| [20] | 崔万秋, 沈志奇, 周德保. Li2Mo2O6多晶材料的结构与电性能的研究. 物理学报,
												1990, 39(6): 105-114.
												
												doi: 10.7498/aps.39.105 |