搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

微米亚微米有限凹槽衍射特性的实验研究

戴伦 郑师海 李德华 陈岩松

微米亚微米有限凹槽衍射特性的实验研究

戴伦, 郑师海, 李德华, 陈岩松
PDF
导出引用
导出核心图
计量
  • 文章访问数:  2522
  • PDF下载量:  665
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  1995-05-11
  • 刊出日期:  1996-04-05

微米亚微米有限凹槽衍射特性的实验研究

  • 1. (1)北京大学人工微结构与介观物理国家重点实验室,北京100871; (2)中国科学院物理研究所,北京100080
    基金项目: 

    国家自然科学基金

    北京市中关村地区联合分析测试中心资助的课题

摘要: 应用微电子制板技术、电子束扫描曝光和离子刻蚀技术研制成功微米、亚微米级宽度的凹槽结构,并对其进行了衍射特性的研究,实验测试数据表明了这些凹槽的明显的矢量衍射特性.

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回