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Ti和蓝宝石的界面反应

陶琨 顾诠 王佑祥 崔玉德 陈新

Ti和蓝宝石的界面反应

陶琨, 顾诠, 王佑祥, 崔玉德, 陈新
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出版历程
  • 收稿日期:  1995-02-28
  • 刊出日期:  1996-05-20

Ti和蓝宝石的界面反应

  • 1. (1)清华大学材料研究所,北京100084; (2)中国科学院半导体研究所,北京100083;中国科学院表面物理国家重点实验室,北京100080
    基金项目: 

    国家自然科学基金资助的课题

摘要: 在超高真空中用电子束蒸发在抛光的(1102)取向的蓝宝石(α-Al2O3)衬底上蒸镀500nm的Ti膜,在恒温炉中退火,然后用XRD(包括一般的和小角度的X射线衍射),AES(俄歇电子谱,包括深度剖面分布和通过界面的谱形分析)和SIMS(二次离子质谱)等表面分析技术详细研究了从室温至850℃,Ti与α-Al2O3的固相界面反应.结果表明室温及300℃,30min退火已有反应,Al2O3<

English Abstract

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