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金属与金刚石薄膜接触的电学特性研究

严辉 陈光华 张兴旺 季亚英

金属与金刚石薄膜接触的电学特性研究

严辉, 陈光华, 张兴旺, 季亚英
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出版历程
  • 收稿日期:  1996-10-09
  • 刊出日期:  1997-06-20

金属与金刚石薄膜接触的电学特性研究

  • 1. (1)北京工业大学应用物理系; (2)北京工业大学应用物理系;兰州大学物理系; (3)兰州大学物理系
    基金项目: 

    北京市自然科学基金资助的课题.

摘要: 用热丝辅助化学汽相沉积技术在Si衬底上合成了含少量受主型杂质的近于本征的金刚石薄膜,并研究了三种金属(Cu,Ag和Al)与它接触的电学特性,以及退火对接触特性的影响.结果表明Cu,Ag与金刚石薄膜接触的电学特性比较类似,而Al则明显不同;而且退火对它们的接触特性影响很大

English Abstract

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