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PECVD纳米晶粒硅薄膜的可见电致发光

佟嵩 刘湘娜 王路春 阎峰 鲍希茂

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PECVD纳米晶粒硅薄膜的可见电致发光

佟嵩, 刘湘娜, 王路春, 阎峰, 鲍希茂

VISIBLE ELECTROLUMINESCENCE FROM SILICONNANOCRYSTALLITES PREPARED BY PLASMAENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION

TONG SONG, LIU XIANG-NA, WANG LU-CHUN, YAN FENG, BAO XI-MAO
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出版历程
  • 收稿日期:  1996-07-31
  • 修回日期:  1996-10-03
  • 刊出日期:  1997-03-05

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