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人造金刚石低压气相生长的相图计算

张卫 王季陶 万永中

人造金刚石低压气相生长的相图计算

张卫, 王季陶, 万永中
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出版历程
  • 收稿日期:  1996-05-24
  • 刊出日期:  1997-06-20

人造金刚石低压气相生长的相图计算

  • 1. 复旦大学电子工程系
    基金项目: 

    国家自然科学基金资助的课题.

摘要: 用非平衡热力学耦合模型计算了由CH4/H2,CO/H2和乙炔火焰等气相体系生长金刚石的相图.与经典平衡热力学理论计算结果不同的是这些相图都有一个金刚石生长区存在.相图中的金刚石生长区是实现金刚石气相生长的热力学基础,它的存在体现了超平衡氢原子等激活粒子对石墨的激活和对金刚石的稳定作用.计算的相图与报道的实验结果基本相符,因而对金刚石气相生长的理论和实验研究具有重要的指导意义

English Abstract

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