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金属Sn薄膜的高温氧化与表面特征

严辉 马黎君 陈光华 黄世平 文华杰 郭伟明

金属Sn薄膜的高温氧化与表面特征

严辉, 马黎君, 陈光华, 黄世平, 文华杰, 郭伟明
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出版历程
  • 收稿日期:  1997-01-02
  • 修回日期:  1997-02-20
  • 刊出日期:  1997-08-20

金属Sn薄膜的高温氧化与表面特征

  • 1. (1)北京工业大学应用物理系; (2)香港中文大学电子工程系; (3)香港中文大学化学系

摘要: 侧重研究了高温氧化(300-550℃)引起金属Sn薄膜的表面显微形貌和表面氧化状态的变化.利用原子力显微镜(AFM)的测量,观察到金属Sn薄膜表面的金属晶粒呈现近似方形的显微形貌,但是金属Sn氧化薄膜表面的金属氧化物颗粒却具有近似圆形的显微形貌,因此,金属晶粒的高温氧化是一个各向异性的过程.在X射线光电子能谱(XPS)测量的基础上,不仅发现在金属Sn薄膜和金属Sn氧化薄膜的表面都存在大量的吸附氧粒子,而且发现吸附氧粒子的吸附形式与表面的氧化程度有关

English Abstract

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