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高导热金刚石薄膜的研究

顾长志 金曾孙 吕宪义 邹广田 张纪法 方容川

高导热金刚石薄膜的研究

顾长志, 金曾孙, 吕宪义, 邹广田, 张纪法, 方容川
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出版历程
  • 收稿日期:  1997-01-17
  • 刊出日期:  1997-10-20

高导热金刚石薄膜的研究

  • 1. (1)吉林大学超硬材料国家重点实验室; (2)中国科学技术大学物理系

摘要: 分析了影响金刚石膜热导率的主要因素,指出声子的散射是造成金刚石膜热导率降低的主要原因.采用光热偏转法实现了金刚石薄膜热导率的测试,测量误差小于5%,从减少杂质和晶界对导热声子的散射入手,研究了在不同的制备方法下碳源气体和金刚石膜内晶粒取向对其热导率的影响.结果表明在低碳源气体浓度下采用微波等离子体化学汽相沉积方法制备的具有较高程度(400)晶粒取向的金刚石薄膜具有高的热导率性质.优化的工艺条件制备出热导率为15.2W/(K·cm)左右的金刚石膜.

English Abstract

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