搜索

文章查询

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

热丝法制备纳米晶硅薄膜结构及沉积机制的研究

陈国 郭晓旭 朱美芳 孙景兰 许怀哲 韩一琴

热丝法制备纳米晶硅薄膜结构及沉积机制的研究

陈国, 郭晓旭, 朱美芳, 孙景兰, 许怀哲, 韩一琴
PDF
导出引用
导出核心图
计量
  • 文章访问数:  2550
  • PDF下载量:  676
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  1996-11-05
  • 修回日期:  1997-03-28
  • 刊出日期:  1997-10-20

热丝法制备纳米晶硅薄膜结构及沉积机制的研究

  • 1. 中国科学技术大学研究生院物理系;半导体超晶格国家重点实验室
    基金项目: 

    国家自然科学基金

摘要: 用热丝法制备了纳米晶硅薄膜.通过Raman散射谱及X射线谱,系统地研究了沉积气压Pg、高H2稀释及衬底与钨丝之间距离对沉积速率、纳米硅薄膜的形成和结构等的影响.计算了沉积过程中的温度场分布.讨论了沉积过程中反应基元的输运和相关的气相反应,以及H在薄膜生长中的作用,由此分析了沉积参量对薄膜结构的影响,得到了与实验相一致的结果.

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回