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GdBaCuO超导薄膜Tc值的优化实验研究

J.GEERK R.SMITHY 李言荣 刘兴钊 徐进

GdBaCuO超导薄膜Tc值的优化实验研究

J.GEERK, R.SMITHY, 李言荣, 刘兴钊, 徐进
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出版历程
  • 收稿日期:  1997-01-15
  • 修回日期:  1997-04-01
  • 刊出日期:  1997-10-20

GdBaCuO超导薄膜Tc值的优化实验研究

  • 1. (1)INFP,Forschungszentrum Karlsruhe,D 76021,Germany; (2)电子科技大学信息材料工程学院

摘要: 用倒筒式直流磁控溅射装置在LaAlO3单晶基片上原位沉积了GdBaCuO(GBCO)薄膜.系统调查了GBCO薄膜的超导性质与溅射温度Ts、溅射压力和靶组成的变化规律,发现在720—820℃较宽的基片温度范围、在较低的溅射气压(40Pa)、较高的溅射速率(0.03nm/s)下均可制备出Tc0>92K,(005)峰摇摆曲线半高宽不大于0.2、膜面非常光滑且具有良好外延特性的c轴嵌镶单晶薄膜.在最佳条件下(Ts=820℃,气

English Abstract

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