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生长于微结构内点状结构的成核热力学

祝精美 杨国伟

生长于微结构内点状结构的成核热力学

祝精美, 杨国伟
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出版历程
  • 收稿日期:  1998-10-21
  • 修回日期:  1998-11-27
  • 刊出日期:  1999-08-20

生长于微结构内点状结构的成核热力学

  • 1. (1)山东工业大学数理系,济南 250061; (2)湘潭大学物理系,湘潭411105;清华大学材料科学技术系,北京 100084

摘要: 研究了汽相沉积过程中的衬底表面凹结构的成核热力学,指出可以通过衬底表面微结构设计来控制成核过程以实现点状结构的生长.计算了凹结构内的临界核形成能,表明与平面相比成核优先在凹结构发生.考虑凹结构的“等效势阱”效应,发现凹结构内稳定原子团的生长速率远远大于平面处稳定原子团的生长速率.

English Abstract

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