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高温处理对CNx薄膜晶化的影响

肖兴成 江伟辉 田静芬 宋力昕 胡行方

高温处理对CNx薄膜晶化的影响

肖兴成, 江伟辉, 田静芬, 宋力昕, 胡行方
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出版历程
  • 刊出日期:  2000-01-20

高温处理对CNx薄膜晶化的影响

  • 1. 中国科学院上海硅酸盐研究所,上海200050
    基金项目: 

    中国科学院上海硅酸盐研究所所长择优基金

摘要: 利用直流磁控溅射制得非晶态氮化碳膜,然后在高温下、常压N气氛中进行热处理,利用DTA,XRD和Auger研究晶化前后氮化碳成分、结构以及键态的变化.实验结果表明:在1186℃附近出现了晶化现象,高温晶化处理可以促进无定形氮化碳向晶态转变,在XRD图谱上出现αC3N4衍射峰.Auger实验结果表明膜中出现富C,Si,N的区域

English Abstract

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