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新型多有源区隧道再生光耦合大功率半导体激光器

廉 鹏 殷 涛 高 国 邹德恕 陈昌华 李建军 沈光地 马骁宇 陈良惠

新型多有源区隧道再生光耦合大功率半导体激光器

廉 鹏, 殷 涛, 高 国, 邹德恕, 陈昌华, 李建军, 沈光地, 马骁宇, 陈良惠
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-03-20
  • 修回日期:  2000-06-16
  • 刊出日期:  2000-12-20

新型多有源区隧道再生光耦合大功率半导体激光器

  • 1. (1)北京工业大学电子工程系和北京市光电子技术实验室,北京 100022; (2)中国科学院半导体研究所,北京 100083
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:69776033)和北京自然科学基金(批准号:4961001)资助的课题.

摘要: 针对大功率半导体激光器面临的主要困难,提出并实现了一种隧道再生多有源区耦合大光腔 高效大功率半导体激光器机理.该机理能有效地解决光功率密度过高引起的端面灾变性毁坏 、热烧毁和光束质量差等大功率激光器存在的主要问题.采用低压金属有机化合物气相淀积 方法生长了以碳和硅作为掺杂剂的GaAs隧道结、GaAs/InGaAs 应变量子阱有源区和新型多有 源区半导体激光器外延结构,并制备了高性能大功率980nm激光器件.三有源区激光器外微分 量子效率达2.2,2A驱动电流下单面未镀膜激光输出功率高达2.5W.

English Abstract

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