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溅射制备薄膜过程中的光谱在线测量研究

刘隆鉴 沈杰 章壮健

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溅射制备薄膜过程中的光谱在线测量研究

刘隆鉴, 沈杰, 章壮健

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出版历程
  • 收稿日期:  1999-03-14
  • 修回日期:  1999-06-14
  • 刊出日期:  2000-01-05

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