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溅射制备薄膜过程中的光谱在线测量研究

沈杰 章壮健 刘隆鉴

溅射制备薄膜过程中的光谱在线测量研究

沈杰, 章壮健, 刘隆鉴
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出版历程
  • 收稿日期:  1999-03-14
  • 修回日期:  1999-06-14
  • 刊出日期:  2000-02-20

溅射制备薄膜过程中的光谱在线测量研究

  • 1. (1)复旦大学材料科学系,上海200433; (2)四川工业学院物理实验中心,成都610039

摘要: 在制备薄膜的过程中,利用光谱分析的方法,以放电光谱特征谱线强度的变化来反映相应物质成分的变化,以连续光谱光源发出的光透射过薄膜的透射率的变化,来反映薄膜的厚度、折射率、吸收系数等光学参数的变化,从而达到在制膜过程中,对薄膜的成分、厚度等参数进行在线监控的目的.

English Abstract

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