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电子回旋共振等离子体源的数值模拟

胡希伟 邬钦崇 俞国扬 刘明海

电子回旋共振等离子体源的数值模拟

胡希伟, 邬钦崇, 俞国扬, 刘明海
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出版历程
  • 收稿日期:  1999-07-23
  • 刊出日期:  2000-03-20

电子回旋共振等离子体源的数值模拟

  • 1. (1)中国科学技术大学近代物理系,合肥230026; (2)中国科学院等离子体物理研究所,合肥230031; (3)中国科学院等离子体物理研究所,合肥230031 中国科学技术大学近代物理系,合肥230026
    基金项目: 

    国家自然科学基金!(批准号 :6 9493 5 0 0和 1980 5 0 0 8) 中国博士后科学基金! (批准号 :9 1998)资助的课题

摘要: 采用自洽微波功率吸收的二维混合模型,对电子回旋共振等离子体源中的各种物理参量(电离速率、等离子体密度、位势、电子温度)进行数值模拟.结果表明:等离子体参数随运行条件(中性气压和微波功率)变化呈现出区域特征、饱和现象和振荡行为等非线性现象

English Abstract

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