搜索

x
中国物理学会期刊
高级检索

电子回旋共振等离子体源的数值模拟

物理学报, 2000, 49(3): 497-501.
DOI: 10.7498/aps.49.497
CSTR: 32037.14.aps.49.497

Acta Phys. Sin., 2000, 49(3): 497-501.
DOI: 10.7498/aps.49.497
CSTR: 32037.14.aps.49.497
PDF
导出引用

  • 摘要

    采用自洽微波功率吸收的二维混合模型,对电子回旋共振等离子体源中的各种物理参量(电离速率、等离子体密度、位势、电子温度)进行数值模拟.结果表明:等离子体参数随运行条件(中性气压和微波功率)变化呈现出区域特征、饱和现象和振荡行为等非线性现象

     

    Abstract

      作者及机构信息

      Authors and contacts

      参考文献

    目录

    /

    返回文章
    返回