搜索

文章查询

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理

池凌飞 林揆训 姚若河 林璇英 余楚迎 余云鹏

Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理

池凌飞, 林揆训, 姚若河, 林璇英, 余楚迎, 余云鹏
PDF
导出引用
导出核心图
计量
  • 文章访问数:  2906
  • PDF下载量:  1194
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2000-10-15
  • 修回日期:  2000-12-09
  • 刊出日期:  2001-07-20

Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理

  • 1. 汕头大学物理系,汕头515063
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:19875033)资助的课题.

摘要: Langmuir探针是诊断等离子体参数的重要手段.报道了在氩气射顿(13.56MHz)辉光放电等离子体中使用调谐单探针进行诊断,对探针I-V特性曲线的统计噪声进行了数字滤波的光滑化处理,而后求二次微商.在相同的放电条件下,使用自行设计的微分电路,对探针特性二次微商进行在线测量.这两种方法得到的二次微商结果能够较好地符合.

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回