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反应溅射法制备TiO2薄膜

赵坤 朱凤 王莉芳 孟铁军 张保澄 赵夔

反应溅射法制备TiO2薄膜

赵坤, 朱凤, 王莉芳, 孟铁军, 张保澄, 赵夔
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-10-21
  • 修回日期:  2001-02-07
  • 刊出日期:  2001-07-20

反应溅射法制备TiO2薄膜

  • 1. 北京大学重离子研究所,北京100871
    基金项目: 

    中国节能投资公司资助(批准号:20000412)资助的课题.

摘要: 报道了用反应溅射法制备TiO2薄膜的实验研究.详细研究了氧分压、基底温度和退火温度对成膜结构的影响.制备出了具有金红石和锐钛矿晶体结构的TiO2薄膜.分析了金红石和锐钛矿晶体的形成条件,并对薄膜的表面形貌进行了测量.

English Abstract

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