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实验条件对纳米多孔SiO2薄膜结构及特性的影响

吴广明 王珏 沈军 杨天河 张勤远 周斌 邓忠生 范滨 周东平 张凤山

实验条件对纳米多孔SiO2薄膜结构及特性的影响

吴广明, 王珏, 沈军, 杨天河, 张勤远, 周斌, 邓忠生, 范滨, 周东平, 张凤山
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出版历程
  • 刊出日期:  2006-12-22

实验条件对纳米多孔SiO2薄膜结构及特性的影响

  • 1. (1)同济大学波耳固体物理研究所,上海200092; (2)中国科学院上海技术物理研究所,上海200083

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