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射频等离子体鞘层动力学模型

戴忠玲 王友年 马腾才

射频等离子体鞘层动力学模型

戴忠玲, 王友年, 马腾才
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-05-15
  • 修回日期:  2001-06-12
  • 刊出日期:  2001-12-20

射频等离子体鞘层动力学模型

  • 1. 大连理工大学物理系,大连116024
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:19975008和19835030)

    国家教育部“跨世纪优秀人才培养计划”基金

    “高等学校骨干教师资助计划”资助的课题.

摘要: 在流体力学方程的基础上建立了一种自洽的无碰撞射频等离子体鞘层动力学模型.这种自洽性包含两个方面:一方面,由于考虑了瞬时鞘层电场对离子运动的影响,因此该模型适用于描述任意频率段的射频鞘层演化过程;另一方面,在模型中采用等效电路方法来自洽地确定极板上的瞬时电位与瞬时鞘层厚度之间的关系.采用数值方法模拟出鞘层的瞬时厚度及极板的瞬时电位变化、鞘层内离子密度和电场强度等物理量的时空变化.结果表明,当射频场的频率小于或等于离子等离子体频率时,离子流密度明显地随时间变化

English Abstract

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