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射频放电阻抗测量用于等离子体诊断研究

余建华 黄建军

射频放电阻抗测量用于等离子体诊断研究

余建华, 黄建军
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-02-25
  • 修回日期:  2001-06-09
  • 刊出日期:  2001-12-20

射频放电阻抗测量用于等离子体诊断研究

  • 1. 
    基金项目: 

    广东省自然科学基金(批准号:980922)资助的课题.

摘要: 利用自行研制的传感器和测量装置,通过对射频放电电压、电流以及其相位角的精确测定,算出放电管的总阻抗,结合放电管的等效电路模型与Godyak等建立的射频放电模型,对射频激励铜离子激光管在氦气中的放电特性进行了研究,得出射频激励铜离子激光器不同气压及电流密度下的等离子体电阻、容抗、鞘层厚度及电子密度

English Abstract

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