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沉积粒子能量对薄膜早期生长过程的影响

魏合林 刘祖黎 姚凯伦 陈敏

沉积粒子能量对薄膜早期生长过程的影响

魏合林, 刘祖黎, 姚凯伦, 陈敏
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-04-14
  • 修回日期:  2001-06-09
  • 刊出日期:  2001-12-20

沉积粒子能量对薄膜早期生长过程的影响

  • 1. (1)华中科技大学物理系,武汉430074; (2)华中科技大学物理系,武汉430074,岳阳师范学院物理系,岳阳414000
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:19774023)资助的课题.

摘要: 利用Monte Carlo(MC)模型研究了能量粒子对薄膜生长的初始阶段岛膜的形貌和岛的尺寸的影响,沉积粒子的能量范围为:0—0.7eV.在模型中考虑了原子沉积、吸附原子扩散和蒸发等过程,并详细考虑了临近和次临近原子的影响.结果表明,在所采用的参量范围内不同的基底温度情况下,能量粒子的影响有很大的区别.低基底温度情况下,沉积粒子强烈地影响着薄膜的生长过程中,岛膜的形貌、数量和尺寸随能量粒子的能量增加而有很大的变化.分析表明,这些变化都是由于能量粒子的介入使得表面吸附粒子的扩散能力增强所致

English Abstract

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